Филтрација високе чистоће за ултра-чисту производњу полупроводника
Опис
Филтер за гасне гасове високог протока – Специјално дизајниран за филтрацију процесних гасова ултра високе чистоће у производњи полупроводника. Прецизно направљен од нерђајућег челика 316L, има дизајн са више колона или наслаганих дискова како би се осигурао низак отпор при високим брзинама протока, са тачношћу филтрације која достиже 0,003μm како би се испунили захтеви ултра високе чистоће. Конструкција од потпуно метала чини га идеалним решењем за филтрацију у динамичким окружењима са високим температурама.
Карактеристика производа
▶Сва конструкција од нерђајућег челика 316L— Обезбеђује издржљивост и отпорност на корозију.
▶Висок проток, низак отпор— Оптимизовано за висок проток са минималним губитком притиска.
▶Ултрависока ефикасност задржавања честица— Одлично за одржавање ултрачистих услова.
▶Отпорно на високе температуре, притисак и корозију— Погодно за тешке услове окружења.
▶Компатибилно са различитим процесним гасовима— Свестрано за вишеструке индустријске примене.
▶Идеално за производњу, тестирање и паковање у чистим просторијама— Идеално за употребу у контролисаним условима.
▶100% тестирање интегритета— Сваки филтер пролази кроз свеобухватно тестирање интегритета ради осигурања квалитета.
▶100% тестирање цурења хелијума— Проверено тестирањем цурења хелијума како би се осигурала поузданост у критичним применама.
Технички лист
Технички параметри
| Параметар | Спецификација |
|---|---|
| Материјал филтерског елемента | Синтеровани прах од нерђајућег челика 316L |
| Материјал кућишта | Нерђајући челик 316Л |
| Максимални улазни притисак | 207 бара |
| Максимални радни диференцијални притисак | 5,2 бара |
| Стопа цурења за валидацију хелијума | 2 x 10⁻¹⁰ цц/мин |
| Стопа цурења хелијума за тестирање | 1 x 10⁻¹⁰ цц/мин |
| Површинска обрада | |
| Спољна површина | Ra < 1,6 μm |
| Унутрашња површина | Ra < 0,2 μm |
| Максимална радна температура | |
| Инертни гас | 400-500℃ |
| Корозивни и реактивни гас | 50℃ |
| Ефикасност задржавања честица | ≥99,9999999% (9ЛРВ) @ 30 слпм |
| Чистоћа низводно | ≤0,03 честица/литар @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Величина задржавања честица | ≥0,003 μm |
Величина
Ево броја дела који можете наручити и детаља о величини:
| Модел производа | Материјал филтерског елемента | Тачност филтрације (μm) | Тип везе |
|---|---|---|---|
| З01Б-00647 | Нерђајући челик 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| З01Б-00648 | Нерђајући челик 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| З01Б-00649 | Нерђајући челик 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| З01Б-00650 | Нерђајући челик 316L | 10~0,003 | 1” |
| Прилагодљиво | Нерђајући челик 316L | 10~0,003 | По потреби |
Типичне примене
неке типичне применеВисокочисти филтери за расуте и комуналне услугеиФилтери протока гаса на бензинској рампи:
1. Производња полупроводника
*Обезбеђује снабдевање ултрачистим гасом за израду плочица, нагризање и процесе хемијског таложења из паре (CVD).
*Одржава високу чистоћу у системима за дистрибуцију гаса у расутом стању за азот, аргон и друге носачке гасове.
2. Фармацеутска производња
*Обезбеђује стерилни гас без честица за критична производна окружења.
*Подржава филтрацију високе чистоће за чисте собе и контролисана окружења како би се одржао интегритет производа.
3. Лабораторијски гасни системи
*Користи се у лабораторијским условима за пречишћавање гасних токова у аналитичкој опреми као што су гасна хроматографија и масена спектрометрија.
*Обезбеђује гасове високе чистоће за истраживачке и тестне примене, штитећи осетљиве инструменте.
4. Прерада хране и пића
*Филтрира CO₂ и друге гасове који се користе у карбонизацији, паковању и складиштењу, одржавајући безбедност и квалитет хране.
*Обезбеђује снабдевање гасом без контаминације у постројењима за прераду, посебно за компаније за дистрибуцију гаса у великим количинама.
5. Нафтна и гасна индустрија
*Пречишћава токове природног гаса у филтрацији гасних јастука, уклањајући загађиваче пре складиштења или транспорта.
*Штити низводну опрему уклањањем честица, влаге и нечистоћа у системима за проток гаса под високим притиском.
6. Хемијска производња
*Филтрира гасове попут азота и аргона који се користе у хемијској синтези и реакцијама.
*Одржава чистоћу гаса како би се спречила контаминација и недоследности у реакцијама.
7. Ваздухопловство и одбрана
*Испоручује гасове високе чистоће у производним и испитним окружењима за ваздухопловне материјале и компоненте.
*Обезбеђује конзистентну чистоћу гаса у контролисаним окружењима за монтажу авиона и одбрамбене опреме.
8. Производња енергије (електране)
*Филтрира гасове високог притиска за хлађење и процесне примене, посебно у условима високе температуре.
*Повећава ефикасност и смањује хабање опреме спречавањем контаминације у системима за хлађење и проток гаса.
Ови фФилтери су неопходни у свакој примени која захтева чист, константан проток гаса, побољшавајући заштиту опреме,
ефикасност процеса и квалитет коначног производа у свим индустријама.
Пошаљите нам своју поруку:
