Напредни IGS површински монтирани C-заптивни филтери за ултрачисте полупроводничке гасне системе

Напредни IGS филтери са C-заптивком за површинску монтажу за ултрачисте полупроводничке гасне системе. Истакнута слика.

Кратак опис:

Марка:ХЕНГКО

Назив филтера:IGS филтер са C-заптивком за површинску монтажу

Материјал:SS 316L

Брзина протока:10 ~ 120 SLPM

Максимална радна температура:460° C

Величина уклоњених честица:> 0,003 μm

Пошаљите нам имејл Назад на подкатегорије

Детаљи производа

Ознаке производа

Опис

HENGKO филтери за површинску монтажу су дизајнирани да задовоље захтевне захтеве интегрисаних гасних система који се користе у полупроводничким OEM алатима. Нудећи водећу филтрацију у индустрији на 0,003 µm, ови филтери обезбеђују изузетне перформансе и поузданост са ефикасношћу пресретања честица од ≥99,9999999% (9-LRV) при 120 slpm.

Направљени од робусног нерђајућег челика 316L синтерованог прашкасто за филтерски елемент и кућиште, ови филтери су у складу са SEMI F86-0304 спецификацијама, са компонентама са два отвора прилагођеним за системе за дистрибуцију гаса од 1,125” са C-заптивном конфигурацијом. Подржавају максимални улазни притисак од 3,4 MPa на 100°C и максималну радну разлику притиска од 0,69 MPa на 100°C.

Ови специјализовани филтери, компатибилни са спецификацијама заптивача C и W типа, постижу чистоћу низводно са ослобађањем честица

Са површинском завршном обрадом Ra< 1,6 µm на спољашњости и Ra< 0,13 µm на унутрашњој страни, дизајнирани су да издрже високе температуре до 460°C. Пројектовани за лаку интеграцију и модуларне надоградње дизајна, ови филтери поједностављују инсталацију и одржавање, помажући у оптимизацији перформанси система у апликацијама за испоруку и контролу полупроводничког гаса.

Карактеристика производа

▶ Укупна конструкција од нерђајућег челика 316L
▶ Минијатуризовани дизајн, компактна структура, уштеда простора
▶ Одличне карактеристике замене гаса и десорпције
▶ Отпорно на високе температуре, висок притисак и корозију
▶ Кућиште од нерђајућег челика 316L електрополирано
▶ Једноставна и ефикасна инсталација и одржавање
▶ Механичко заптивање, структурно незаварено са медијумом

Високоперформансни IGS површински монтирани C заптивни филтери за полупроводничке системе за испоруку гаса

Технички лист

Технички параметри	Вредности
Материјал филтерског елемента	Синтеровани прах од нерђајућег челика 316Л
Материјал кућишта	Нерђајући челик 316L
Максимални улазни притисак	3,4 МПа на 100°C
Максимална радна разлика	0,69 MPa @ 100°C
Стопа цурења хелијума за верификацију	1x10⁻¹¹ цц/мин
Стопа цурења хелијумског теста	1x10⁻⁹ цц/мин
Површинска обрада	Спољна површина Ra< 1,6 μm
	Унутрашња површина Ra< 0,13 μm
Максимална радна температура	460°C
Ефикасност пресретања честица	≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (референтни MPPS, све честице)
Чистоћа низводно	Ослобађање честица:< 0,03 честица/литар (< 1 честица/ft³)
	Испарљиве материје:< 10 ppb влаге
Величина пресретања честица	≥0,003 μm
Опсег протока	0 ~ 120 slpm