Полупроводнички гасни филтери:
Обезбеђивање беспрекорне чистоће гаса у производњи чипса
У замршеном свету производње полупроводника, где су прецизност и чистоћа најважнији, квалитет
гасови који се користе играју кључну улогу у одређивању успеха процеса. Нечистоће, чак и на бесконачно малим нивоима,
може да изазове пустош на деликатним круговима микрочипова, чинећи их неисправним и неупотребљивим. За заштиту
У овом критичном процесу, полупроводнички гасни филтери стоје као непопустљиви чувари, пажљиво уклањајући загађиваче
и обезбеђивање нетакнутог квалитета гасова који теку кроз производне линије.
Постоје многе одличне карактеристике и предности филтера од синтерованог метала
1. Израђено у најсавременијим чистим просторима
Ови филтери се рађају у најсавременијој чистој просторији, окружењу у коме се пажљиво одржавају беспрекорни услови како би се свела на минимум свака потенцијална контаминација. Они пролазе кроз ригорозни производни процес, почевши од прецизног заваривања у атмосфери пречишћеног ваздуха. Накнадно испирање дејонизованом водом, праћено испирањем филтрираним азотом под високим притиском, елиминише све честице које се задржавају и смањује ризик од осипања честица.
2. Изузетна ефикасност уклањања честица
Са изузетном ефикасношћу филтрације од 9 ЛРВ за честице од 0,003 μм, придржавајући се строгих стандарда постављених од стране СЕМИ Ф38 и ИСО 12500 метода испитивања, ови филтери ефикасно уклањају све честице настале корозијом и честице настале из покретних делова, обезбеђујући нетакнуту чистоћу гасови.
3. Супериорна механичка чврстоћа
Ригорозно тестирани да гарантују изузетну отпорност у захтевним производним процесима и окружењима која често користе високе притиске гаса, ови филтери пружају непоколебљиве перформансе током свог животног века.
4. Прекорачење највиших индустријских стандарда
Надмашујући строге захтеве за филтрирање за руковање гасом за обраду полупроводника, ови филтери пролазе ригорозно тестирање како би се гарантовало да испуњавају критичну ефикасност филтрације, прецизну контролу протока и безбедносне стандарде које захтевају системи за испоруку гаса у производњи полупроводника.
5. Непоколебљива посвећеност безбедности
Да би се заштитили од излагања запаљивим, корозивним, токсичним и пирофорним процесним гасовима, кућишта филтера се подвргавају детаљном тестирању на цурење, осигуравајући да постижу изузетну брзину цурења мању од 1к10-9 атм сцц/секунди. Ова непоколебљива посвећеност безбедности осигурава да се опасни гасови задржавају и спречавају да проузрокују штету.
6. Бескомпромисна чистоћа за изврсност у производњи чипса
Кроз своје изузетне могућности филтрације, непоколебљиву посвећеност безбедности и поштовање највиших индустријских стандарда, ови гасни филтери играју кључну улогу у заштити сложеног процеса производње полупроводника. Они стоје као чувари чистоће, обезбеђујући да само најчистији гасови пролазе кроз производне линије, утирући пут за стварање микрочипова високих перформанси који напајају наш савремени свет.
Врсте полупроводничких филтера
Полупроводнички филтери се користе у различитим апликацијама, укључујући:
* Производња електронике:
Полупроводнички филтери се користе за уклањање честица из ултра чисте воде, гасова и хемикалија које се користе у производњи полупроводника.
* Хемијско-механичка планаризација (ЦМП):
Полупроводнички филтери се користе за уклањање честица из ЦМП суспензије, које се користе за полирање полупроводничких плочица.
* Биомедицински:
Полупроводнички филтери се користе за уклањање честица из течности које се користе у медицинској дијагностици и лечењу.
* Животна средина:
Полупроводнички филтери се користе за уклањање честица из ваздуха и воде.
Постоје четири главна типа полупроводничких филтера:
1. Мембрански филтери:
Мембрански филтери су направљени од танког, порозног филма који омогућава да течности пролазе кроз хватање честица.
2. Филтери дубине:
Дубински филтери су направљени од дебелог, кривудавог слоја материјала који задржава честице док пролазе кроз филтер.
3. Адсорбујући филтери:
Адсорбујући филтери су направљени од материјала који привлачи и задржава честице.
4. Синтеровани метални филтери
Синтеровани метални филтери су тип дубинског филтера који се обично користи у производњи полупроводника. Израђују се синтеровањем финог металног праха у порозну структуру. Синтеровани метални филтери су познати по својој високој издржљивости, високој ефикасности филтрације и способности да издрже високе температуре и притиске.
Предности синтерованих металних филтера за производњу полупроводника:
* Висока издржљивост:
* Висока ефикасност филтрације:
* Дуг животни век:
* Хемијска компатибилност:
Примена филтера од синтерованих метала у производњи полупроводника:
* Пречишћавање гаса:
Синтеровани метални филтери су суштински део процеса производње полупроводника, помажући да се обезбеди производња висококвалитетних полупроводничких уређаја.
Тип полупроводничког филтера који се користи у одређеној примени зависи од величине честица које се уклањају, врсте течности која се филтрира и жељеног нивоа филтрације.
Ево табеле која резимира различите типове полупроводничких филтера:
Тип филтера | Опис | Апликације | Слика |
---|---|---|---|
Мембрански филтери | Направљен од танког, порозног филма који омогућава да течности пролазе кроз хватање честица. | Производња електронике, ЦМП, биомедицински, еколошки | |
Дубински филтери | Направљен од дебелог, кривудавог слоја материјала који задржава честице док пролазе кроз филтер. | ЦМП, биомедицински, еколошки | |
Адсорбентни филтери | Направљен од материјала који привлачи и држи честице. | Производња електронике, ЦМП, биомедицински, еколошки | |
Синтеровани метални филтери | Направљен синтеровањем финог металног праха у порозну структуру. | Пречишћавање гаса, хемијска филтрација, филтрација ултра чисте воде, филтрација ЦМП суспензије | Синтеровани метални филтери за полупроводнике |
Апликација
Филтери за гас од синтерованих металних полупроводника се широко користе у разним применама у индустрији полупроводника. Њихова јединствена својства, као што су висока ефикасност филтрације, издржљивост и способност да издрже високе температуре и притиске, чине их суштинском компонентом система за испоруку гаса у производњи полупроводника.
Ево неких од специфичних примена синтерованих металних полупроводничких гасних филтера:
1. Производња вафла:
Синтеровани метални филтери се користе за пречишћавање гасова који се користе у производњи плочица, као што су азот, водоник и кисеоник. Ови гасови су неопходни за процесе као што су епитаксијални раст, јеткање и допинг.
2. Хемијска филтрација:
Синтеровани метални филтери се користе за филтрирање хемикалија које се користе у производњи полупроводника, као што су киселине, базе и растварачи. Ове хемикалије се користе у различите сврхе, укључујући чишћење, нагризање и полирање.
3. Ултра чиста филтрација воде:
Синтеровани метални филтери се користе за филтрирање ултра чисте воде (УПВ) која се користи у производњи полупроводника. УПВ је неопходан за чишћење и испирање вафла, као и за припрему хемикалија.
4. ЦМП филтрација суспензије:
Синтеровани метални филтери се користе за филтрирање ЦМП суспензије, која се користи за полирање полупроводничких плочица. ЦМП је критичан процес у производњи микрочипова.
5. Филтрација на месту употребе (ПОУ):
Синтеровани метални филтери се често користе као ПОУ филтери, који се инсталирају директно на месту употребе како би се обезбедио највиши ниво филтрације. ПОУ филтери су посебно важни за апликације где је чистоћа гаса критична, као што је производња микропроцесора и других уређаја високих перформанси.
6. Руковање гасом високе чистоће:
Синтеровани метални филтери се користе у системима за руковање гасом високе чистоће за уклањање загађивача из гасова који се користе у производњи полупроводника. Ови загађивачи могу укључивати честице, влагу и органска једињења.
7. Производња микроелектронике:
Синтеровани метални филтери се користе у производњи микроелектронике, као што су рачунари, таблети, мобилни телефони, ИоТ сензори и контролни уређаји.
8. Филтрација микроелектромеханичких система (МЕМС):
Синтеровани метални филтери се користе у МЕМС филтрацији, што је процес уклањања загађивача из микро-електромеханичких система. МЕМС се користе у разним апликацијама, укључујући сензоре, актуаторе и претвараче.
9. Филтрирање уређаја за складиштење података:
Синтеровани метални филтери се користе у филтрацији уређаја за складиштење података, што је процес уклањања загађивача са уређаја за складиштење података, као што су чврсти дискови и ССД уређаји.
Поред ових специфичних примена, синтеровани метални полупроводнички гасни филтери се такође користе у низу других апликација у индустрији полупроводника. Њихова свестраност и поузданост чине их основним алатом за произвођаче полупроводника.
Тражите врхунске синтероване металне полупроводничке гасне филтере?
ХЕНГКО је ваш партнер за ОЕМ решења у системима за производњу полупроводника.
Наши прецизно пројектовани филтери обезбеђују поузданост и ефикасност у вашим процесима, нудећи вам предност на конкурентном тржишту.
Зашто одабрати ХЕНГКО филтере?
* Врхунски квалитет и издржљивост
* Прилагођена решења која одговарају вашим специфичним потребама
* Побољшане перформансе за производњу полупроводника
Не дозволите да изазови филтрације спутавају вашу производњу.
Обратите нам се данас да истражите како наши филтери од синтерованог метала могу да револуционишу ваш производни систем.
Контактирајте нас наka@hengko.com
Удружите се са ХЕНГКО и направите корак ка изврсности у производњи полупроводника!