Сензор температуре и влажности за шему контроле влажности температуре чисте собе полупроводника
Продуцт Схов
Температураивлажност чистог простора се углавном одређује према захтевима процеса, али под условом испуњавања захтева процеса треба узети у обзир осећај удобности.Са побољшањем захтева за чистоћом ваздуха јавља се тренд све строжијих захтева за температуру и влажност.
Како је тачност обраде све финија, тако је и опсег температурних флуктуација све мањи.На пример, у процесу литографског излагања велике производње интегрисаних кола, разлика коефицијента термичког ширења између стаклене и силицијумске плочице као материјала маске мора бити све мања.Силиконска плочица пречника 100 ум, пораст температуре за 1 степен, проузроковаће линеарну експанзију од 0,24 ум, тако да мора постојати температура од ±0,1 степен, у исто време је вредност влажности генерално ниска, јер се људи зноје, производ ће имати загађење, посебно се плаши радионице натријум полупроводника, ова радионица не би требало да прелази 25 степени.
Висока влажност ствара више проблема.Када релативна влажност пређе 55%, на зиду цеви за расхладну воду ће се формирати роса, што ће изазвати разне незгоде ако се деси у прецизним уређајима или колима.Када је релативна влажност 50%, лако је зарђати.Поред тога, када је влажност превисока, прашина залепљена за површину силицијумског чипа биће хемијски адсорбована на површини како би се одупрла уклањању.Што је релативна влажност већа, адхезија се тешко уклања, али када је релативна влажност мања од 30%, честице се лако адсорбују на површину услед дејства електростатичке силе, а велики број полупроводничких уређаја се склон квару.Оптимални температурни опсег за производњу вафла је 35-45%.
Због тога је контрола температуре и влажности посебно важна, ХЕНГКО вам може пружити низпредајник температуре и влажности прилагођена решења за обраду!
Сензор температуре и влажности за шему контроле влажности температуре чисте собе полупроводника
Не можете да пронађете производ који одговара вашим потребама?Контактирајте наше продајно особље заОЕМ/ОДМ услуге прилагођавања! 
